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產品名稱: Hamamatsu濱松光子學膜厚測量系統
產品型號: C11295
產品展商: 日本Hamamatsu濱松光子學
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簡單介紹
Multipoint NanoGauge 膜厚測量系統 C11295 是一種利用光譜干涉法的薄膜膜厚測量系統。作為半導體制造過程的一部分，它旨在測量薄膜厚度，以及用于對安裝在半導體制造設備上的 APC 和薄膜進行質量控制。允許實時進行多通道測量，可在薄膜表面同時進行多通道測量和多點測量。同時，它還可以測量反射率（透射率）、物體色及其隨時間的變化。
Hamamatsu濱松光子學膜厚測量系統
的詳細介紹
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型號
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C11295-XX*1
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可測量的薄膜厚度范圍（玻璃）
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20 nm 至 100 μm*2
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測量重現性（玻璃）
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0.02 nm*3 *4
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測量精度（玻璃）
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±0.4%*4 *5
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光源
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氙光源 *6
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測量波長
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320 nm 至 1000 nm
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光斑尺寸
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約 φ1 mm*4
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工作距離
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10 mm*4
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可測量層數
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*多 10 層
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分析
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FFT 分析、擬合分析
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測量時間
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19 ms/point*7
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光纖連接器形狀
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SMA
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測量點數
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2 至 15
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外部控制功能
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以太網
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接口
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USB 2.0（主機 - 計算機）
RS-232C（光源 - 計算機）
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電源
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AC100 V 至 AC240 V，50 Hz/60 Hz
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功耗
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2 通道時：大約 350 VA，15 通道時：約 500 VA
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濱松光子學株式會社總部位于靜岡縣濱松市，是一家主要產品包括光電倍增管、光學半導體器件以及圖像處理和測量設備的制造商。靜岡縣內有七個生產基地，其中包括位于濱松市的總工廠。
1948年成立時名為東海電子研究所，1953年成立濱松電視株式會社，開始生產將光轉換為電信號并檢測電信號的光電管。1983年，公司名稱變更為濱松光子學株式會社，并于1998年3月在東京證券交易所**部上市，至今仍在那里。
公司業務大致分為電子管業務、固態業務、系統業務、激光業務四大類。所有這些公司主要開發、制造和銷售“發光”、“捕獲光”和“測量光”的產品。具體產品包括光電二極管等光學傳感器、LED 等光源以及配備 CMOS 和 CCD 的高性能相機。特別是在光傳感器領域，光電倍增管自公司成立以來一直是代表產品，并為獲得諾貝爾物理學獎做出了貢獻，多年來不斷發展，目前在全球市場占有率高達約90%。此外，光半導體器件、測量設備等種類繁多的產品被廣泛應用于醫學、工業、分析、測量、學術界等領域，被世界各地的制造商和研究機構所使用，正在全球擴張，海外市場約占其銷售額的70%。
