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參數 | 描述 | 單位 | ||
---|---|---|---|---|
窗材 | MgF2 | - | ||
光譜分布 | 115 至 400 | nm | ||
預熱時間 | 25 ±5 | s | ||
光輸出穩定性 | 波動 (p-p) | *大值 | 0.05 | % |
偏差 | *大值 | ±0.3 | %/h | |
保證光源壽命 (*1) | 2000 | h | ||
替換光源 | L12565 | - | ||
真空法蘭 | - (*2) | - | ||
密封方法 | O 型圈 | - | ||
泄漏量 | 1 x 10-10 Pa m3/s (*3) | - | ||
輸入電壓(交流) | 100 V 至 240 V,單相 50 Hz / 60 Hz | - | ||
功耗 | *大值 | 90 | VA | |
光源單元冷卻方法 | 以風扇強制風冷 | - | ||
工作溫度范圍 | +10 至 +40 | ℃ | ||
儲存溫度范圍 | 0 至 +60 | ℃ | ||
工作濕度范圍 | 低于 80%(無冷凝) | - | ||
儲存濕度范圍 | 低于 85%(無冷凝) | - | ||
外部控制 | 照射控制、照射信號、各種報錯信號 | - |